Perfilometría

• Pruebas de dureza, módulo de elasticidad y rasgado a micro y nanoescalas con nanoindentador de diamante (Berkovich, Vickers, Knoop)
• Microscopía de fuerza atómica con modos convencionales de contacto y tapping, y modos no convencionales como piezo-respuesta PFM, sonda Kelvin por KPFM, mapeo de módulo de elasticidad por AFAM y nanofricción por LFM
• Perfilómetro 3D para medición de rugosidad de superficie y espesores de películas delgadas